SJT 31112-1994 WGK型微控扩散系统完好要求和检查评定方法
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ID： |
25A46327331C4B888D48B870B3340281 |
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文件大小(MB)： |
0.35 |
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页数： |
4 |
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文件格式： |
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日期： |
2024-7-28 |
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中华人民共和国电子行业标准,WGK型微控扩散系统完好要求,和检査评定方法,SJ/T 31112-94,1主题内容与适用范围,本标准规定了 WGK型微控扩散系统的完好要求和检査、评定方法,本标准适用于WGK型微控扩散系统,2名词与术语,2.1 恒温区长度——达到稳定温度及精度时炉管内连续温区的长度,2.2 静态ーー炉管两端用耐火材料基本封闭,炉膛无明显气流扰动的情况,2.3 升温功率——从室温升至工作温度的过程中所需的最大功率,2.4 恒温功率——达到稳定1200C时维持恒温所需的功率,2.5 单点温度稳定性——达到稳定工作温度后炉管中点在规定时间内温度的偏差,2. 6定值重复性——改变定值而后重新回到原定值时温度的偏差,2.7 开机重复性——指关炉24h后重新开机达到工作温度与精度,其稳定温度与关炉前温度,的偏差,2.8 层间影响——多管炉中一管工作时,相邻管对管的影响,3完好要求,3.1 主要性能,3.1.1 工作温度范围:,标准型:30。.1200,高温型:300.1300C,3.1.2 单点温度稳定性：670.:1240c±0.5 C/24h；,3.1.3,3.1.4,3.1.5,3.1.6,3.1.7,300.1300C±l"C/24h,恒温区长度及精度:士。. 5C/800mm(1200C),升温时间: ^90min；,升温功率：V15kW/管;,恒温功率:,降温速率:,V7kW//管(12。。￠)；,>1000"。时 6C/min；,41000C 时 4C/min,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准1994-06-01 实施,SJ/T 31112-94,3.1.8 定值重复性:±0.5C；,3.1.9 开机重复性±o.5C；,3.1.10 层间影响:土 0.25,3.1.11 推角速度,行程 〉1200mm；,摆速100.300/min可调;,摆幅10.20mm可调;,3.1.12 石英工序管有效内径ユM30mm,3.1.13 净化台操作面净化级别;,ー万级厂房中达ー百级（静态）,3.1.14 气柜管路系统漏气率 1. 0133X10-7Pa-m7sec?He；,3.1.15 电源 220V±10%,380V± 10%,50Hz,3.2微机控制系统,3.2.1 单管单控,CRT显示,薄膜操作面板,除装卸片外,进舟、氧化、扩散、出舟、送气整个エ,艺过程全部由计算机控制,3. 2. 2可编程工艺步＞30步,每步定时范围OhOminOs.299h59min50s,存储五条以上成熟的,工艺曲线、控制系统具有在线操作、掉电保护、エ艺曲线存储、故障自诊断,CRT显示,恒温区,目调整,板警保护等功能,3.2.3 微机控制系统各开关、按钮、操作键完整无损,动作灵敏、可靠,控制装置各组成部分保,持完整、功能齐全,性能稳定,工作状态良好,显示清晰,3.2.4 显示器能正常显示通电自检的正常信息,微机系统通电自检功能必须正常,3.2.5 输入/输出程序正确无误,3.2.6 打印机、穿孔机与主机接口良好,工作正常,3.2.7 装置内部清洁,布线整齐,线路无老化、破裂,各线路标志齐全、正确,3.28 所有裸露导体件（包括外壳）,必须与保护接地端子构成通路,保证有永久良好的导电,性,保护接地端子与微机控制系统任何裸露导体件和整机外壳之间的电阻不得大于1,3.3电 气系统,3.3.1外 部导线有完整的保护装置,线路外套管无脱、破损、漏电现象,3.3.2电 气箱内清洁,布线整齐,线路绝缘层无老化、破裂现象;线路标志齐全、明显,各端子,联接牢固、无松动;电器性能灵敏,运行可靠,3.3.3各 种开关、按钮动作灵敏,安全可靠,3.3.4各 种仪表指示正确,误差在允差范围内,有有效期校验合格证,3-4气路系统,3.4 .1气路系统装置齐全、整洁,管路联接牢固、密封性好,无泄漏,3.4 .2各元件动作灵敏、可靠,阀与管道联接密封良好,无泄漏,3.4 -3各种仪表性能灵敏,指示正确,有有效期内校验合格证,3.5 操作系统,3 . 5-1各操作开关、按钮启动灵活,定位标志齐全、可靠,3 .5.2各种保护装置齐全,性能灵敏,安全可靠,2,SJ/T 31112-94,3. 6安全防护,3.6 .1各安全防护装置、报警装置状态良好,功能齐全、有效,性能灵敏、可靠,3.6 -2设备接地可靠,标志明显,3.7 维护保养,3. 7.1净化工作台操作面的净化级别,必须达到并保持在规定范围内,3. 7. 2其它按SJ/T 31002—94《设备维护保养通则》执行,4检查、评定方法,4.1 检査方法,4.1.1 单点温度稳定性,静态下,升温至工作温度,待稳定后,用标准销错ー钳测量热电偶,每lOmin,连续24h测得,炉膛中点的温度,然后用均方根值法或最大偏差法（即所测各点最大值与最小值之间的差值）,求出温度偏差值,再除以2. 4得单点稳定度,4.1.2 恒温度长度及精度,静态下,升温至工作温度,待稳定后,沿炉膛中心轴线,从恒温区距炉口最远点测起,每,10mm（测量点间隔100mm）测一点,依次往炉口方向连测9点,所测点温度间的最大偏差,即为,800mm恒温区精度,4.1.3 升温时间,将温度预置为1200C,从开始升温计时,升至1200C时,所需的时间,即为升温时间,4.1.4 升温功率,静态下,炉子全速升温时,测得炉子的总电流，,然后再测当时的电网电压U,即得升温,功率ル升二び」,4.1.5 恒温功率,静态下,升温至1200C,温度稳定后测得炉子的维持电流ス,再测当时的电网电压ヅ,即,得恒温功率印恒=レ丒，维……
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